【传感器技术】压电式传感器(一)
压电传感器的笔记整理
一、压电效应概述:
某些晶体或多晶陶瓷,当沿着一定方向受到外力作用时,内部就产生极化现象,同时在某两个表面上产生符号相反的电荷。
- 当外力去掉后,又恢复到不带电状态;
- 当作用力方向改变时,电荷的极性也随着改变;
- 晶体受力所产生的电荷量与外力的大小成正比。
对晶体施加一定电场,晶体本身将产生机械变形,外电场撤离,变形也随着消失,称为
逆压电效应。
逆压电效应(电致伸缩):
施加电场时,应变ε与外电场强度E成正比:
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有源的双向机电传感器
逆压电效应的应用
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电声、超声工程中的应用。
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电致伸缩效应的优点是电场-应变关系非常稳定,不随时间及电场的反复循环而变化。
电致伸缩陶瓷被广泛用于微米和亚微米级的微位移定位器,在高精度的光学系统中用作长度和角度的精密调整。
二、石英晶体的压电效应
2.1描述
SiO2,有30个晶面,有左右两种,根据不同的晶体轴,会有不同的效应
晶体轴: ①光轴Z(无双折射现象)、无压电效应
②电轴X(压电效应最显著)
③机械轴Y(逆压电效应显著)

切割一个平行六面体:切得的晶体长度是L,宽度是B,高度是D。
1)首先我们沿着X轴,也就是电轴的方向世家一个作用力Fx,晶片发生变形,在垂直于X轴的表面形成电荷,这种现象称为纵向压电效应。

极化强度(面电荷的密度)和施加的应力成正比
电荷数量和外部施加的作用力有关,和晶体的形状尺寸无关
2)横向压电效应的电荷数量公式的系数d12是纵向压电效应d11的相反数。

3)沿着光轴方向施力,无压电效应

参数解释:dij表示压电系数
其中:i(1、2、3)表示极化方向,x,y,z轴
其中:j(1,2,3)表示作用力方向,沿着x,y,z 的单向应力;(4、5、6)表示YZ,XZ,XY平面的剪切应力
2.2压电效应的机理分析

在没有作用力的时候,呈现正六边形,正负电荷相对形成三个电偶极矩互成120°。这三个电偶极矩大小相等,矢量和为0。p1+p2+p3=0
1)我们在X轴方向上施加一个压力作用,在X方向上发生压缩变形

p1=q*l(电偶极矩等于电荷量*电荷之间的距离)所以这个极矩就减少;
p2和p3在Y轴方向是扩张的,所以变大;
最终三个矢量和在X轴上的分量呈现向上,所以电偶极矩在X轴上也不再为0,表现为d11≠0,d12=0。
2)我们在沿着Y轴的方向上施加一个压力

这时候,p1的电偶极矩增加,p2和p3在X轴方向上减少,表现为向下的电偶极矩,d11=0,d21≠0。
2.3压电方程


例如右旋石英晶体,他的有效参数就只有六个,但是基本上参数之间是有关联的,d11=-d12、d14=-d25、-2d11=d26体现了对称性。我们往往采用系数最大的方向来设计我们的压电传感器。
三、压电陶瓷的压电效应

3.1压电效应的特点
- 沿z轴受力,在垂直z轴的表面出现电荷;
- 沿x,y轴受力,仍在垂直z轴的表面出现电荷;
- 沿xz、yz平面加剪切力,分别在垂直x,y轴的表面出现电荷;

四、压电材料
①转换性能:具有较高的耦合系数或压电常数;
②机械性能:机械强度高、刚度大;以使线性范围宽和固有频率高;
③电性能(10^4Ω):高电阻率、高介电常数;
④事件稳定性:压电特性不随时间蜕变
⑤温度和湿度稳定性:压电常数、介电常数、电阻率、弹性系数


耦合系数=根号{机械能转化为电能/输入的机械能};
温度和湿度稳定性要好:
居里点:石英居里点573C、钛酸钡115℃;
热释电效应”(红外和温度传感器)可以用一个下限截至频率高于3Hz的放大电路测量

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