CMOS 图像传感器技术指南

1. 技术原理深度解析

1.1 CMOS 传感器基本结构

CMOS 图像传感器(CIS)的架构是模拟电路与数字电路的复杂集成。下图是一个概念性的框图,展示了从光线捕获到数字输出的信号路径。

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1.2 光电二极管与像素结构

其基本单元是 4T(4晶体管) 有源像素结构中的 钳位光电二极管(Pinned Photodiode, PPD)。该结构通过相关双采样(CDS)降低了噪声(kTC 噪声)。

4T 像素电路模型:

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截面图(示意说明):

  1. 微透镜(Micro-lens):将入射光聚焦到感光区域。
  2. 彩色滤光片阵列(CFA):拜耳阵列(RGGB)过滤光谱分量。
  3. 金属互连层:在 FSI 中,它们位于硅上方;在 BSI 中,它们位于光电二极管层下方,以防止光线遮挡。
  4. 硅基底:包含 N 型光电二极管和 P 阱。

1.3 模拟前端(ADC)架构

现代 CIS 主要使用 列并行 ADC 来实现高速和低噪声。

架构流程:

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  • 单斜率 ADC:将像素电压与斜坡参考电压进行比较。计数器测量斜坡越过像素电压电平所需的时间。

1.4 全局快门与卷帘快门

特性 卷帘快门 (Rolling Shutter, RS) 全局快门 (Global Shutter, GS)
曝光模式 逐行曝光 所有像素同时曝光
读出 逐行读出 逐行读出(存储后)
伪影 “果冻效应”(移动物体变形) 无运动失真
电路差异 标准 4T 结构 需要额外的存储节点(5T/6T/电压域)

时序图对比:

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2. 核心参数技术白皮书

2.1 量子效率 (QE)

QE 代表不同波长下的光子到电子的转换效率。

典型背照式(BSI)传感器 QE 数据:

波长 (nm) 颜色通道 峰值 QE (%) 说明
450nm 蓝色 (B) ~75% 蓝光峰值响应
540nm 绿色 (G) ~85% 最高灵敏度(匹配人眼)
620nm 红色 ® ~65% 红光峰值响应
850nm 近红外 ~25% 近红外灵敏度(安防/夜视)
940nm 近红外 ~15% 标准红外补光灯波长

(注:图表通常显示在各自波长达到峰值的钟形曲线)

2.2 满阱容量 (FWC) 与动态范围

  • FWC(满阱容量):像素在饱和前能容纳的最大电子数。
  • 动态范围(DR)DR=20⋅log⁡10(FWCReadNoise)DR = 20 \cdot \log_{10}(\frac{FWC}{Read Noise})DR=20log10(ReadNoiseFWC)

FWC 与像素尺寸关系(典型值):

像素尺寸 (µm) FWC (e-) 线性动态范围 (dB) 应用领域
1.4 6,000 64 移动端 / 消费类
2.9 18,000 72 安防 / 工业
3.76 30,000 78 高端科研
5.86 50,000 82 汽车电子 (HDR)

2.3 暗电流随温度变化

温度每升高约 7-8°C,暗电流增加一倍。

温度响应曲线(归一化):

温度 (°C) 暗电流 (e-/s/pixel) 状态
25 5.0 室温(基准)
40 20.0 暖机运行
60 120.0 典型车规级限制
85 800.0 临界结温

2.4 信噪比 (SNR) 与照度关系

信噪比随光照强度增加而增加,直到饱和。

  • 低光(读出噪声受限):SNR 随光子通量线性上升。
  • 高光(散粒噪声受限):SNR 随光子通量的平方根上升。

SNR 测试数据 (Lux vs dB):

照度 (Lux) SNR (dB) 视觉质量
0.01 10 噪点多,勉强可见
0.1 25 可见,有颗粒感
1.0 35 可接受的监控画质
100 45 良好画质
1000 50+ 极佳

3. 制造工艺专题

3.1 晶圆级封装 (WLP) 工艺

WLP 通过在切割前直接在晶圆上封装传感器,实现了更小的外形尺寸。

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3.2 BSI 与 FSI 结构对比

  • FSI(前照式):金属布线位于光电二极管前方。阻挡光线,QE 较低,串扰较高。
  • BSI(背照式):硅片减薄;光线从背面进入,直接照射光电二极管无遮挡。QE 更高,低光性能更好。

结构对比:

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3.3 像素尺寸微缩路线图

年代 技术节点 像素尺寸 (µm) 关键创新
2005 180nm / 130nm 2.2 - 1.75 FSI 铝工艺
2010 90nm / 65nm 1.4 - 1.12 BSI 铜工艺
2015 45nm / 40nm 1.0 - 0.8 堆栈式 BSI / DTI
2020 28nm / 22nm 0.7 - 0.6 Quad Bayer / FinFET
未来 <22nm < 0.6 光子计数 / 3D 混合键合

4. 应用方案设计指南

4.1 典型成像系统框图

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4.2 低照度图像优化算法流程

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4.3 多帧合成 HDR 处理时序

HDR(高动态范围)通常使用 行交织 HDR (Staggered HDR)数字重叠 HDR (DOL-HDR),其中长曝光和短曝光帧以交错方式读出,以减少运动伪影和内存缓冲需求。

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5. 参考文献

  1. [1] E. R. Fossum, “CMOS image sensors: Electronic camera-on-a-chip,” IEEE Transactions on Electron Devices, vol. 44, no. 10, pp. 1689-1698, Oct. 1997.
  2. [2] A. El Gamal and H. Eltoukhy, “CMOS image sensors,” IEEE Circuits and Devices Magazine, vol. 21, no. 3, pp. 6-20, May-June 2005.
  3. [3] S. Sukegawa et al., “A 1/4-inch 8Mpixel Back-Illuminated CMOS Image Sensor,” 2011 IEEE International Solid-State Circuits Conference, San Francisco, CA, 2011.
  4. [4] Y. Maruyama et al., “A 3.2µm Back-Illuminated Global Shutter CMOS Image Sensor with 100dB Dynamic Range,” 2020 IEEE Symposium on VLSI Technology, Honolulu, HI, 2020.
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