第 3 课：FAB 常用术语扫盲（EAP 入门必背）
一、本课学习目标
记住 FAB 里最常用的 30 个基础术语
看到英文缩写能立刻反应中文意思
能听懂现场工程师日常对话，不懵圈
一、生产 & 物料相关
Wafer
晶圆，就是一片圆形的硅片，FAB 加工的主体。
Lot
一批晶圆，一个生产批次，比如 1 lot = 25 片 wafer。
Cassette
老式晶圆承载盒，8 寸厂常用。
FOUP
Front Opening Unified Pod
12 寸厂标准的晶圆盒，密封、洁净，自动化搬运用。
Carrier
对晶圆盒的统称（FOUP / Cassette 都可以叫 Carrier）。
Slot
FOUP 里放晶圆的槽位，12 寸一般 25 个 slot。
WIP
Work In Process
在制品，正在产线流动、还没做完的 Lot。
二、机台 & 自动化相关
Equipment / Tool
机台，生产设备。
Chamber
工艺腔室，机台内部真正加工晶圆的地方。
很多机台是多腔室：传输腔、工艺腔。
Load Port
承载 FOUP 的平台，EAP 高频控制对象。
Robot
机台内部机械手，负责取放晶圆。
Port
端口，Load Port 简称，也指网口、串口。
AMHS
自动物料搬送系统，OHT 天车那一套。
OHT
Overhead Hoist Transport
天车，空中自动搬运 FOUP 的小车。
Interlock
联锁，安全 / 工艺保护逻辑，触发后机台不能动作。
三、工艺 & Recipe 相关
Recipe
工艺程序，机台加工的一套参数集合。
EAP 核心工作：下发、校验、管理 Recipe。
Process
工艺，加工过程。
Parameter
参数，Recipe 里的温度、时间、压力、功率等。
Run
机台正常加工一次，叫一 Run。
PM
Preventive Maintenance
预防性维护，定期保养机台。
EAP 要控制 PM 期间禁止跑货。
四、状态 & 报警相关
Alarm
报警，机台异常。
Warning
警告，未到停机级别，但需要关注。
Idle
机台空闲，就绪状态。
Run
运行中，正在加工。
Down
机台故障停机，不可用。
Pause
暂停，可恢复。
五、系统 & 软件相关
MES
Manufacturing Execution System
制造执行系统，FAB 的大脑，派工、追踪、管理 Lot。
EAP
Equipment Automation Program
设备自动化，机台与 MES 之间的桥梁。
FDC
Fault Detection & Classification
故障检测与分类，EAP 上传数据给 FDC。
R2R
Run-to-Run
批次间控制，根据前一批结果调整下一批参数。
六、本课快速记忆口诀
物料：Wafer → Lot → FOUP → Slot → WIP
机台：Tool → Load Port → Chamber → Robot → Interlock
工艺：Recipe → Parameter → Run → PM
状态：Idle → Run → Down → Alarm → Warning
系统：MES → EAP → FDC → R2R
七、课后小作业
默写至少 15 个术语及中文
用自己的话解释：Lot、Recipe、Alarm、Load Port、MES、EAP
说出：FOUP 和 Cassette 的区别